<참고자료>

본 연구결과에서 사용된 상전이 물질은 최근 재조명받고 있는 칼코게나이드계 화합물인 Ge2Sb2Te5(GST)로, 이전부터 DVD와 같은 광학 저장장치 및 상전이 메모리 소자(PRAM) 등에 응용된 바 있는 물질이다. 이 물질은 온도에 따라 비정질(amorphous)과 결정질(crystalline) 상태 간의 상전이가 일어나는데, 그 상태에 따라 전기 전도도 및 광학적 성질이 크게 변화하는 특성을 지니고 있다. DVD는 이 물질의 상전이에 따른 반사율의 변화를 측정하여 광학 저장장치로 응용한 예라 할 수 있다.

현재 홀로그램 영상을 표시하는 공간광변조기로 주로 사용되는 것은 엘코스 (LCoS) 이다. 하지만 액정을 이용한 엘코스는 픽셀피치를 줄이는 데 한계가 있어서, 홀로그램 영상을 볼 수 있는 시야각이 좁다는 문제점이 있다. 픽셀피치 1μm 급 공간광변조기를 만들기 위하여 다양한 재료를 이용한 시도가 이루어지고 있다.

하지만 일반적인 GST 박막의 상전이에 따른 반사율의 변화로는 홀로그램 이미지를 육안으로 관측할 수 있는 수준의 광 회절 현상을 만들어 내는 것이 매우 어렵다. 이러한 문제를 해결하기 위해 ETRI는 인듐 주석 산화물(ITO)과 GST가 적층된 복층 박막 구조를 설계하였고, 복층 박막 내에 삽입된 GST층의 상전이를 이용하여 시중에 판매되는 LED 광원으로도 선명한 홀로그램 이미지를 관측하는데 성공하였다.

따라서 홀로그램 디스플레이를 위한 공간 광 변조 장치를 개발하는데 있어서 가장 큰 화두이자 걸림돌 중에 하나인 초소형 픽셀 구현이 가능하다는 잠재력을 지니고 있다. 그러나 제안된 GST 박막 구조를 이용한 공간 광 변조 장치가 구현되려면, 기존의 디스플레이 패널들과 같이 전기 신호의 인가를 통해 GST의 광 변조가 가능한가를 검증할 필요가 있었다.

연구진은 이를 검증하기 위해 GST박막을 기반으로 하는 단위 픽셀을 제작했다. 1㎛ x 4㎛ 수준으로 광 변조 영역이 설계된 단위 픽셀 구조에 전기 신호를 줬을 때, GST기반 복층 구조의 광학적 특성이 변화하는 것을 성공적으로 관측했다. 본 연구를 바탕으로 ETRI는 향후 능동 픽셀들의 배열 구조를 설계 및 구동, 본격적으로 초고해상도 공간 광 변조 장치를 개발할 예정이다.

<참고자료1>

상전이 물질 기반 홀로그램 이미징 기술

그림 1. (a) 상전이 물질 박막을 통해 형성된 홀로그램 이미지.

(b) 홀로그램 이미지 형성을 위한 상전이 물질 박막에 새겨진 회절 패턴
(c) 전기 신호를 이용한 상전이 물질 박막의 광 변조 관측 결과

<참고자료2> 논문게재 사진 설명

설명: 실리콘 웨이퍼 위, 금속층(반사층) 과 상전이 물질층이 증착되어 있는 샘플 위에 홀로그램 패턴이 새겨져 있는 마스크를 놓고, 자외선 레이저를 조사하여 홀로그램 패턴대로 상전이 물질을 결정화하여 상전이 홀로그램을 만드는 과정의 모식도.	설명: (a) 본 연구에서 사용된 상전이 물질(GST)의 온도에 따른 상전이 특성(비정질->결정질)을 전기전도도를 통해 보여주고 있음. (b) 비정질과 결정질 상전이 물질 각각의 상태에 대해 측정된 유전율 값. 무지개색 영역은 가시광 파장 대역을 나타냄.
설명:(a) 7nm 초박막 상전이 물질이 유전체(ITO)층 사이에 삽입되어 있고, 삽입된 상전이 물질의 상전이 전후에 따라 반사 스펙트럼의 변화 양상을 보여주고 있음. (b) 삽입된 상전이 물질의 두께를 바꾸어 가며 측정한 결과, 7nm 일때가 가장 색 변화가 크게 나타남을 보여주는 그림. (c) 색 변화가 나타나는 이유는 반사 스펙트럼의 shift현상 때문인데, 반사 스펙트럼 뿐 아니라 반사되는 빛의 위상차 또한 크게 변화함을 보여주는 그림 (붉은 실선과 붉은 점선간 거리가 멀수록 위상차가 큰 것). 우상단 inset은 위상 차이가 크게 나타난다는 것을 실험적으로 보여주는 그림 (반사되는 빛의 간섭 무늬가 중간에 끊어지는 것처럼 보이는 것이 위상 차이의 증거) (d) 유전체(ITO)층의 두께를 다르게 설계하면, 별도의 색상 필터 없이도 적색, 녹색, 청색의 특정한 파장 대역만 회절이 강하게 일어나게 만드는 것이 가능함. 이때 홀로그램 패널의 색상은 회절되는 색의 보색을 띄게 됨. (아래의 3개 샘플 사진)	설명: (a) 그림 1과 같은 방식으로 제작된 상전이 홀로그램 패널에서 재생된 홀로그램 이미지. 3차원 깊이감을 표현하기 위해 서로 다른 초점거리에 두 종류의 이미지 (체크보드 or NANO SLM)를 나타내었음. (b) 3차원 시야각 특성을 보여주기 위해 사진 촬영 각도를 바꾸어가면서 이미지를 관측한 결과. 체크보드와 글자의 초점거리가 다르기 때문에 보는 위치에 따라 두 평면의 상대적인 위치가 변화함. (c) 그림 3d에서 언급했던 특정 색상만을 회절시키는 상전이 홀로그램 패턴의 실험 결과.
설명: (a) 상전이 물질 기반 홀로그램의 능동 구동 가능성을 확인하기 위해, 단위 픽셀 구조를 설계하였음. (우측 그림은 단면도) (b) 제작된 상전이 물질 기반 단위 픽셀 구조의 SEM 사진. (c) 상전이 물질기반 단위픽셀 구조에서 전류 신호를 인가하여 동작 영역에서 상전이 물질 상 변화로 인한 반복적인 on/off 픽셀 구동 실험 결과를 보였음.